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エプソン、高温ポリシリコンTFT液晶パネルの新工場「千歳事業所」を本格稼動

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　セイコーエプソンは19日、北海道千歳市の工業団地「千歳美々ワールド」に建設した高温ポリシリコンTFT液晶パネル（HTPS）製造のための新工場「千歳事業所」を予定どおり4月から本格稼動し、4月19日に初出荷式を行ったと発表した。

　千歳事業所は、同社初の300mm（12インチ）ウェハー石英ガラスを使った液晶プロジェクターおよび大型液晶プロジェクションTV向けHTPSの製造ラインとなる。

　同社はこれまで、プロジェクションシステム向けのHTPSの製造を長野県・富士見町の「諏訪南事業所」にて200mm（8インチ）ウェハーで行っていたが、拡大する液晶プロジェクター市場の需要に応え安定した供給対応を実現するために、千歳事業所を本格稼動させたとしている。

　新工場では、300mm（12インチ）ウェハー石英ガラスによる最先端HTPS製造の新技術を導入し、投入能力2000wf/月（12インチ）で本格量産を開始しているが、今後は市場動向にあわせ順次増強していくという。

※HTPS：High Temperature Poly-Sillicon TFT

《村上幸治》

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