NEC、非破壊検査技術「テラヘルツ帯画像計測」の大幅な高感度化に成功〜従来に比べ10倍程度向上

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2008.4.30（水）16:10

　日本電気株式会社は28日、非破壊検査技術の一種であるテラヘルツ帯画像計測技術に関し、2次元テラヘルツアレイセンサの感度を、従来技術に比べ10倍程度向上させることに成功したと発表した。

　独立行政法人情報通信研究機構（NICT）の委託研究「ICTによる安全・安心を実現するためのテラヘルツ波技術の研究開発」を受けたもので、災害等で用いられることを想定した実時間テラヘルツ帯画像計測の実現に向けた研究開発が進められている。テラヘルツ波は紙・プラスティック・繊維などを透過し、また物質固有の吸収帯がテラヘルツ領域にあるため、テラヘルツ波を用いた画像計測は、X線よりも安全な検査装置として、また、次世代の材料分光分析技術として注目されている。

　テラヘルツ波に隣接する赤外線領域では、ボロメータ型の2次元アレイセンサがすでに開発・製品化されているが、信号雑音比が小さくアレイセンサとして不十分だった。また、テラヘルツ波の従来技術では、画像をテレビのように実時間で取得することが非常に難しかった。

　今回NECでは、赤外線の2次元アレイセンサの技術をベースにして、微小検出器の電磁波吸収体を改良し、テラヘルツ波の吸収効率を高めた2次元テラヘルツアレイセンサの開発に成功した。これによってテラヘルツ帯画像計測の感度が10倍程度向上したとのこと。さらに、同センサ用パッケージの窓材料の開発により、テラヘルツの入射光量を従来比で3〜4倍に増やすことにも成功した。

　これら2つの要素技術の開発により、テラヘルツ帯応用を可能にするための材料分析、工程管理、違法物検知等に係る技術を確立したとしている。今後は、2次元テラヘルツアレイセンサを搭載したテラヘルツカメラの信号処理技術開発を進め、さらなる感度向上を図るための研究を継続する予定。

《冨岡晶》