北大と日立、透過電子顕微鏡と同等の分解能を持ち、観察用資料への損傷が少ない電子回折顕微鏡

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2008.7.30（水）15:47

　北海道大学と日立製作所は29日、観察用の試料への損傷が少なく、結像レンズを使用しないことでレンズ収差の影響を受けずに長時間・高分解能で観察できる「低ダメージ・収差フリー電子回折顕微鏡」を試作したと発表した。

　低ダメージ・収差フリー電子回折顕微鏡は、結像レンズの代わりに回折パターンからコンピュータの計算処理によって像を構成する回折顕微法と低エネルギーの電子ビームを用いる走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope）を組み合わせたもの。これにより、高エネルギーの電子ビームによる損傷を受けやすく、長時間の観察が難しい有機物などの軽元素材料を繰り返し観察できるようになった。また、結像レンズを用いないため、ゆがみやピントのずれがなく、高い分解能での観察を可能としている。今回試作した装置では、30keVの電子ビームで多層カーボンナノチューブを0.34nmの分解能で観察できることが確認された。

　同研究は、2008年4月から科学技術振興機構の育成研究テーマに採択され、今後、さらに低エネルギーの電子ビームによる高分解能観察の検証を進めるとともに、試作装置の実用化を目指してバイオ関連物質を含む多様なサンプルでの実証を行う予定だ。

《富永ジュン》

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